精密機(jī)械加工塵埃粒子計(jì)數(shù)器使用背景

隨著精密機(jī)械加工行業(yè)向微型化、高精密化方向快速發(fā)展，加工件的精度要求已從毫米級(jí)降至微米甚至納米級(jí)，而生產(chǎn)環(huán)境中的微小塵埃粒子（如直徑 0.5μm、5μm 的顆粒物）成為影響產(chǎn)品質(zhì)量與加工設(shè)備壽命的關(guān)鍵隱患，催生了對(duì)精準(zhǔn)塵埃監(jiān)測(cè)工具的迫切需求。傳統(tǒng)精密加工車(chē)間的塵埃監(jiān)測(cè)方式存在明顯短板：早期依賴人工目視檢查或試紙采樣，不僅檢測(cè)效率低（單次檢測(cè)需數(shù)小時(shí)），且無(wú)法量化粒子濃度，僅能判斷 “肉眼可見(jiàn)污染”，難以捕捉微小粒子對(duì)高精度加工的影響 —— 例如，在半導(dǎo)體芯片封裝模具加工中，直徑僅 1μm 的塵埃附著在模具表面，便可能導(dǎo)致封裝尺寸偏差，最終引發(fā)芯片性能故障；部分車(chē)間曾采用固定點(diǎn)位的簡(jiǎn)易監(jiān)測(cè)設(shè)備，但這類設(shè)備覆蓋范圍有限，無(wú)法實(shí)時(shí)追蹤加工區(qū)域（如數(shù)控機(jī)床周邊、潔凈工作臺(tái)）的動(dòng)態(tài)塵埃變化，易出現(xiàn) “監(jiān)測(cè)盲區(qū)”，導(dǎo)致突發(fā)污染未被及時(shí)發(fā)現(xiàn)。

硬件設(shè)備

OSEN-2510L型0.1um在線激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器

OSEN-2510L型0.1um激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器，是我司自主研發(fā)的全新一代產(chǎn)品。計(jì)數(shù)器以光散射原理為理論，通過(guò)光電傳感技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)塵埃粒子粒徑檢測(cè)及粒子數(shù)量的計(jì)數(shù)。相比于普通款的大流量粒子計(jì)數(shù)器，此款儀器檢測(cè)粒徑更小，能最小檢測(cè)0.1um的粒子數(shù)，適用于十級(jí)及一級(jí)的超凈環(huán)境;適用于電子、半導(dǎo)體、液晶面板、微納加工、航空航天、精密加工、新型材料、科研院所等超凈場(chǎng)景。

技術(shù)參數(shù)

粒徑范圍：0.1um-10.0um

標(biāo)準(zhǔn)粒徑通道：0.1um,0.2um,03.0.5um

0.1um粒徑檔計(jì)數(shù)效率：50±20%

濃度示值誤差：0.5μms±20%FS

最大采樣濃度：500000PC/CFM，濃度超限保護(hù)，并提示儀器自凈

重復(fù)誤差：5%F.S

自凈時(shí)間：s10min

采樣流量：28.3L±5%，實(shí)時(shí)監(jiān)控，超限報(bào)警

采樣周期：1-9999s可設(shè)置

連續(xù)工作：支持24h不間斷穩(wěn)定工作

激光光源：長(zhǎng)壽命日本進(jìn)口半導(dǎo)體激光二極管

真空：內(nèi)部真空源，壽命{>}20000小時(shí)

顯示：4.3英寸觸摸屏

電源：DC24V/1A

通訊方式：RS485 @ModbusRTU/ 以太網(wǎng) @ModbusTCP/無(wú)線通訊@LoRa

校準(zhǔn)規(guī)范：JF1190-2008,GB/T 25915.1-2021

外殼：304 不銹鋼

尺寸：寬19.2*深21.2°高15.2cm

重量：4kg

工作環(huán)境溫度：0-40℃溫度10%-90%無(wú)凝結(jié)

存儲(chǔ)環(huán)境：溫度-10-50℃溫度0-90%無(wú)凝結(jié)